发明名称 APPARATUS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1999296(B1) 申请公布日期 2012.01.25
申请号 EP20070753045 申请日期 2007.03.14
申请人 EASTMAN KODAK COMPANY 发明人 LEVY, DAVID, HOWARD
分类号 C23C16/54;C23C16/455 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人
主权项
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