一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法。其中制备超细晶金属薄膜的方法包括以下步骤：选取基底，对其进行清洗和干燥处理；采用物理气相沉积工艺，生长一层金属In，Sn，Zn或Bi薄膜；表面氧化步骤2)的薄膜；重复步骤2)和步骤3)，直至薄膜达到所需厚度。采用本发明的方法所获得的金属或合金薄膜的晶粒尺寸在5nm-50nm，并且工艺简单可控、产品尺寸形貌均一、成本低廉，无需将现有设备进行改动即可得到超细晶薄膜。

主权项

一种制备超细晶金属薄膜的方法，该方法包括以下步骤：步骤1)：选取基底，对其进行清洗和干燥处理；步骤2)：采用物理气相沉积工艺，生长一层金属In，Sn，Zn或Bi薄膜；步骤3)：氧化步骤2)薄膜表面的原子层；步骤4)：重复步骤2)和步骤3)，直至薄膜达到所需厚度。