一种电子级化学品输送装置

摘要

一种电子级化学品输送装置，包括若干物料罐、输送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐经输送支管接输送总管再接真空物料罐，真空物料罐接真空泵，所述输送支管的吸入口插入物料罐底部，输送支管接有吸入量调节阀，输送总管接有排放调节阀，所述真空物料罐置有真空调节阀。本实用新型是一种洁净输送方式，利用真空原理实现电子级化学品的输送，该方法能耗低、成本低，输送的流速快，具有设备简单易于安装，易于清洁，低噪音，无尘输送，操作过程易控制，对输送的产品纯度有保证，具有很好的经济效益。

主权项

一种电子级化学品输送装置，包括若干物料罐、输送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐(1)经输送支管(2)接输送总管(3)再接真空物料罐(4)，真空物料罐(4)接真空泵(5)，所述输送支管(2)的吸入口插入物料罐(1)底部，输送支管(2)接有吸入量调节阀(6)，输送总管(3)接有排放调节阀(7)，所述真空物料罐(4)置有真空调节阀(8)。