具有机械塌陷保持的预塌陷CMUT

摘要

一种适用于超声CMUT换能器阵列中的CMUT换能器单元包括具有第一电极的膜、具有第二电极的衬底、以及位于所述膜和所述衬底之间的腔室。通过将所述膜偏置到与所述腔室的底面的塌陷状况而在预塌陷状态下操作所述CMUT，并且透镜模铸在塌陷的膜上方。在所述透镜材料聚合或者具有足够刚度时，去除所述偏置电压而所述透镜材料将所述膜保持在塌陷状态。

主权项

一种CMUT换能器单元，包括：衬底；附接到所述衬底的第一电极；以与所述第一电极成间隔关系形成的可移动膜；附接到所述膜的第二电极；以及保持部件，所述保持部件在所述膜处于预塌陷状态时覆盖所述可移动膜，并用于在不存在偏置电压的情况下将所述膜保持在其预塌陷状态。