检查装置以及检查方法

摘要

本发明提供检查装置以及检查方法，使通过相位偏移法测定立体形状而进行的被检查物的检查能够低噪声且高效率地进行。在通常状态下进行拍摄(步骤S11)，并且为了通过相位偏移法测定立体形状，在投射了光栅条纹的状态下进行拍摄(步骤S12)。从拍摄所得的二维图像中，确定被测定物的检查区域(步骤S14)。并且，从投射了光栅条纹的二维图像中，关于已确定的检查区域测定立体形状，从而进行立体形状检查(步骤S15)。

主权项

一种检查装置，包括：拍摄部，拍摄被测定物；光栅条纹投光部，对所述被测定物投射通过了光栅条纹狭缝的来自光源的光；以及检查处理部，从通过所述拍摄部拍摄所得的二维图像中确定所述被测定物的检查区域，并从在由所述光栅条纹投光部投射了光栅条纹的状态下通过所述拍摄部拍摄所得的二维图像中，对所述检查区域测定立体形状，从而进行所述检查区域的立体形状检查。