发明名称 一种采用膜分离法回收混合气中六氟化硫的方法
摘要 本发明公开了一种膜分离法回收混合气中六氟化硫的方法,混合气体硫、四氟化碳和氮气的混合气体先经过一过滤器除去其中的有害分解产物,再经过膜分离单元使氮气和六氟化硫与四氟化碳分离,之后再控制温度100-180℃,使六氟化硫液化而四氟化碳保持气体状态,从而使六氟化硫与四氟化碳分离。本制备方法工艺合理,制作简单,是六氟化硫制备的最简便理想技术。
申请公布号 CN102327727A 申请公布日期 2012.01.25
申请号 CN201110214947.9 申请日期 2011.07.29
申请人 天津市泰亨气体有限公司 发明人 李中元
分类号 B01D53/22(2006.01)I;C01B17/45(2006.01)I 主分类号 B01D53/22(2006.01)I
代理机构 天津市杰盈专利代理有限公司 12207 代理人 朱红星
主权项 一种膜分离法回收混合气中六氟化硫的方法,其特征在于混合气体硫、四氟化碳和氮气的混合气体先经过一过滤器除去其中的有害分解产物,再经过膜分离单元使氮气和六氟化硫与四氟化碳分离,之后再控制温度100‑180℃,使六氟化硫液化而四氟化碳保持气体状态,从而使六氟化硫与四氟化碳分离。
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