发明名称 |
压力传感器芯片 |
摘要 |
本发明涉及一种具有设置在壳体(12、14)中的压力测量芯片(18)的压力传感器模块(10)。这个芯片通过孔(38)提供压力。至少一个在壳体(12、14)中在固定部位(48、50)上固定的柔性薄膜(32)通过电触点(22)和压力测量芯片(18)电连接。 |
申请公布号 |
CN102331322A |
申请公布日期 |
2012.01.25 |
申请号 |
CN201110165560.9 |
申请日期 |
2011.06.20 |
申请人 |
罗伯特·博世有限公司 |
发明人 |
H-J.赫德里希;C. H-M.德林 |
分类号 |
G01L9/00(2006.01)I;G01L19/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01L9/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
曹若;杨国治 |
主权项 |
压力传感器模块(10),具有设置在壳体(12、14)中的压力测量芯片(18),可通过孔(38)给这个压力测量芯片提供压力,其特征在于,至少一个在壳体(12、14)中固定在固定部位(48、50)处的柔性薄膜(32)通过电接触(22)和压力测量芯片(18)电连接。 |
地址 |
德国斯图加特 |