| 发明名称 | 基板清洗装置 | ||
| 摘要 | 一种基板清洗装置，通过药液供给部(27)使从药液筒(29)供给的药液与纯水混合生成处理液，通过供给管使处理液供给至处理槽。无需从补充管线等向药液筒(29)补充药液，而使药液不会被污染，因而能够维持药液的高清洁度。因此，能够高清洁度地清洗基板。另外，因为药液筒(29)具有余量显示部(39)，所以能够容易得知药液筒(29)内的药液余量和药液筒(29)的定期更换时间。另外，因为药液筒(29)构成为能够通过喷嘴部(47)调整流量，所以能够直接将药液筒(29)安装在供给管上而简化结构。因此，能够降低装置成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101622696B | 申请公布日期 | 2012.01.25 |
| 申请号 | CN200880006846.9 | 申请日期 | 2008.02.27 |
| 申请人 | 夏普株式会社;大日本网屏制造株式会社 | 发明人 | 方志教和;田中真人 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 郭晓东;马少东 |
| 主权项 | 一种基板清洗装置，利用含有药液的处理液对基板进行清洗，其特征在于，具有：处理部，其用于利用处理液对基板进行处理，供给管，其向所述处理部供给纯水，药液供给部，其具有安装部，该安装部具有形成在所述供给管上的凹部，在所述凹部上具有与所述供给管的内部连通的注入口，从所述注入口向所述供给管供给药液，药液筒，其相对于所述药液供给部的安装部能够自由装卸；所述药液筒具有药液筒主体，该药液筒主体存积药液，所述药液筒主体具有：插入部，该插入部用于插入到所述凹部；喷嘴部，该喷嘴部形成在与所述注入口对应的位置，并形成有多个喷出口，通过适当地开闭所述多个喷出口，能够控制药液的供给量。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||