发明名称 |
靶的制造方法 |
摘要 |
本发明安全添加在大气中易于起火的添加物来便宜地制作靶。在低氧环境气体中,往主材料中添加添加物,形成熔融状态的一次合金13,在大气环境中往熔融状态的一次合金13中添加主材料进行增量,制作二次合金。熔融或固体状态的一次合金13、18是稳定的,因此在大气中不起火。一次合金13、18比二次合金量少,因此用于形成一次环境气体的真空槽11为小型的即可。 |
申请公布号 |
CN101133181B |
申请公布日期 |
2012.01.25 |
申请号 |
CN200680006500.X |
申请日期 |
2006.03.03 |
申请人 |
株式会社爱发科 |
发明人 |
太田淳;杉浦功;谷典明;松本昌弘;片桐弘明;增田忠;石桥晓;伊藤隆治 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
熊玉兰;李平英 |
主权项 |
靶的制造方法,该方法是在一次环境气体中往主材料中添加添加物,制作熔融状态的一次合金,然后在二次环境气体中往上述一次合金中添加上述主材料,得到上述添加物的含量比上述一次合金低的熔融状态的二次合金,制作由上述二次合金构成的溅射靶,其中,使上述一次环境气体的氧分压为0.2Pa以下,总压为130Pa以上,且上述一次环境气体的氧分压比上述二次环境气体的氧分压低,使上述二次环境气体为大气环境气体,使上述一次环境气体的压力比大气环境气体低,在上述主材料中使用铝,在上述添加物中使用在大气中熔化时起火的可燃性金属。 |
地址 |
日本神奈川县 |