| 发明名称 | 激光诱致热成像用膜的去除装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种激光诱致热成像用膜的去除装置。该装置包括基板台，所述基板台上设置有基板；辊单元，用于压制设置于所述基板台的供体薄膜；以及吸气单元，设置于所述基板台并将所述供体薄膜与所述基板之间逸出的空气去除，从而防止了所述薄膜因为空气泄漏而受损。 | ||
| 申请公布号 | CN102332537A | 申请公布日期 | 2012.01.25 |
| 申请号 | CN201110176825.5 | 申请日期 | 2011.06.28 |
| 申请人 | AP系统股份有限公司 | 发明人 | 金相午;黄成在;尹小辉;崔东奎 |
| 分类号 | H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人 | 张颖玲;迟姗 |
| 主权项 | 一种激光诱致热成像用膜的去除装置，其特征在于，包括：基板台，所述基板台上设置有基板；辊单元，用于压制设置于所述基板台的供体薄膜；以及吸气单元，设置于所述基板台并将所述供体薄膜与所述基板之间逸出的空气去除。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||