| 发明名称 |
振动场下晶体生长装置和生长方法 |
| 摘要 |
本发明涉及振动场下晶体生长装置和生长方法，所述的生长装置包括炉体(1)、传动机构(2)、样品安瓿(3)、振动发生器(4)、支架(5)、传动杆(6)和导向杆(7)，其中炉体(1)竖直放置，样品安瓿(3)垂直穿过炉体(1)在炉体(1)中沿垂直方向相对移动，样品安瓿(3)下端固定安装在振动发生器(4)上；传动机构(2)通过传动杆(6)与炉体(1)连接，并带动炉体(1)沿轴向上下移动。炉体(1)套穿安装在导向杆(7)上，沿导向杆(7)的轴向上下移动，传动机构(2)及导向杆(7)均安装在固定支架(5)上。本发明在晶体生长过程中引入了轴向的外加振动场，可以有效控制熔体中的对流，改变固液界面形状，通过探索最佳工艺参数，提高晶体品质和成品率。 |
| 申请公布号 |
CN101407940B |
申请公布日期 |
2012.01.25 |
| 申请号 |
CN200810040954.X |
申请日期 |
2008.07.24 |
| 申请人 |
中国科学院上海硅酸盐研究所 |
发明人 |
刘岩;艾飞;潘秀红;张英;金飞;高国忠;冯楚德;金蔚青 |
| 分类号 |
C30B30/06(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B30/06(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
振动场下晶体生长装置，包括炉体(1)、传动机构(2)、样品安瓿(3)、振动发生器(4)、支架(5)、传动杆(6)和导向杆(7)，其特征在于：炉体(1)竖直放置，样品安瓿(3)垂直穿过炉体(1)在炉体(1)中沿垂直方向相对移动，样品安瓿(3)下端固定安装在振动发生器(4)上；传动机构(2)通过传动杆(6)与炉体(1)连接，并带动炉体(1)沿轴向上下移动，炉体(1)套穿安装在导向杆(7)上，沿导向杆(7)的轴向上下移动，传动机构(2)及导向杆(7)均安装在固定支架(5)上。 |
| 地址 |
200050 上海市定西路1295号 |
