发明名称 |
具有多孔电极的能量存储器件 |
摘要 |
一种用于制造具有大表面积电极的能量存储器件的方法包括:提供导电基板;在导电基板上沉积半导体层,所述半导体层是第一电极;阳极氧化所述半导体层,其中所述阳极氧化在所述半导体层中形成孔,增加所述第一电极的表面积;在所述阳极氧化之后,提供电解质和第二电极,以形成所述能量存储器件。所述基板可以是连续膜,可使用线性处理工具制造所述能量存储器件的电极。所述半导体可以是硅,沉积工具可以是热喷镀工具。而且,半导体层可以是非晶的。能量存储器件可卷绕成圆柱状。能量存储器件可以是电池、电容器或者超电容器。 |
申请公布号 |
CN102334224A |
申请公布日期 |
2012.01.25 |
申请号 |
CN201080009453.0 |
申请日期 |
2010.03.01 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
奥姆卡拉姆·诺拉马苏;史蒂文·维哈维伯克 |
分类号 |
H01M10/04(2006.01)I;H01G9/00(2006.01)I;H01M4/00(2006.01)I;H01G9/042(2006.01)I |
主分类号 |
H01M10/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国;钟强 |
主权项 |
一种用于制造具有大表面积电极的能量存储器件的方法,包括:提供导电基板;在所述导电基板上沉积半导体层,所述半导体层是第一电极;阳极氧化所述半导体层,其中所述阳极氧化在所述半导体层中形成孔,增加所述第一电极的表面积;和在所述阳极氧化之后,提供电解质和第二电极,以形成所述能量存储器件。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |