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发明名称
Method for manufacturing a SOI wafer
摘要
申请公布号
EP2293326(A3)
申请公布日期
2012.01.25
申请号
EP20100013020
申请日期
2004.06.10
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A.
发明人
MAURICE, THIBAUT;NGUYEN, PHUONG;GUIOT, ERIC
分类号
H01L21/762;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/30;H01L21/46;H01L29/76
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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