纳米压印抗蚀剂及采用该纳米压印抗蚀剂的纳米压印方法

摘要

本发明提供一种纳米压印抗蚀剂，该纳米压印抗蚀剂包括以下组分：高支化低聚物，全氟基聚乙醚，甲基丙烯酸甲酯，自由基引发剂以及有机稀释剂。本发明还提供采用该纳米压印抗蚀剂的纳米压印方法。本发明提供的纳米压印抗蚀剂，具有良好的流动性，粘度低，且能在较短的时间内聚合，聚合形成的图形有较好的脱模性能，较高的模量，较低的固化收缩率，有利于脱模的优点。本发明提供的纳米压印方法工艺简单，成本较低，获得的纳米图形的图保真度好，分辨率高。

主权项

一种纳米压印抗蚀剂，其特征在于：该纳米压印抗蚀剂包括以下组分：高支化低聚物，全氟基聚乙醚，甲基丙烯酸甲酯，自由基引发剂以及有机稀释剂，所述高支化低聚物的质量百分比含量为50％～60％。