| 发明名称 | 利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法，是以固体激光器为激光光源，使用周长为3～1000微米，且两个最远角距离或最长直径不超过400微米的小光斑进行逐点逐行激光扫描，其中小光斑内部的能量分布情况是：光斑中心能量最强，向四周能量逐渐变弱。本发明实现了小光斑无损激光剥离，改进了激光剥离扫描方式，从而实现了无需对版的盲打剥离方法，简化了激光剥离工艺过程，提高了效率，降低了废品率，为激光剥离工艺产业化扫清了障碍。 | ||
| 申请公布号 | CN101740331B | 申请公布日期 | 2012.01.25 |
| 申请号 | CN200810225953.2 | 申请日期 | 2008.11.07 |
| 申请人 | 东莞市中镓半导体科技有限公司 | 发明人 | 张国义;孙永健;康香宁;陈志忠;杨志坚;杨欣荣 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人 | 李稚婷 |
| 主权项 | 一种激光剥离GaN和蓝宝石衬底的方法，在蓝宝石上生长GaN基外延片；将带有蓝宝石衬底的外延片制作为GaN基分立器件单元；电镀或键合其他导热导电衬底；应用激光剥离的方法将蓝宝石衬底去除；其特征在于，所述激光剥离以固体激光器为激光光源，使用周长为3～1000微米，且最长直径不超过400微米的小光斑进行逐点逐行激光扫描，其中小光斑内部的能量分布情况是：光斑中心能量最强，向四周能量逐渐变弱。 | ||
| 地址 | 523500 广东省东莞市企石镇科技工业园 | ||