发明名称 |
一种具有排风设备的多晶制绒设备 |
摘要 |
本实用新型涉及一种具有排风设备的多晶制绒设备,包括离心风机和排风管路,所述的离心风机安装在所述的多晶绒设备的顶部;所述的离心风机的进风口与所述的多晶绒设备的排风口相连;所述的离心风机的出风口与所述的排风管路相连。本实用新型能够使设备的工作环境得到很大改善,抗腐蚀能力大大增强,稳定性大大提升。 |
申请公布号 |
CN202124674U |
申请公布日期 |
2012.01.25 |
申请号 |
CN201120161956.1 |
申请日期 |
2011.05.18 |
申请人 |
上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
发明人 |
严俊;聂汉军 |
分类号 |
C30B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
C30B33/10(2006.01)I |
代理机构 |
上海泰能知识产权代理事务所 31233 |
代理人 |
宋缨;张文军 |
主权项 |
一种具有排风设备的多晶制绒设备,包括离心风机(1)和排风管路(2),其特征在于,所述的离心风机(1)安装在所述的多晶绒设备的顶部;所述的离心风机(1)的进风口与所述的多晶绒设备的排风口相连;所述的离心风机(1)的出风口与所述的排风管路(2)相连。 |
地址 |
201108 上海市闵行区春中路56号106-108室 |