发明名称 一种具有排风设备的多晶制绒设备
摘要 本实用新型涉及一种具有排风设备的多晶制绒设备,包括离心风机和排风管路,所述的离心风机安装在所述的多晶绒设备的顶部;所述的离心风机的进风口与所述的多晶绒设备的排风口相连;所述的离心风机的出风口与所述的排风管路相连。本实用新型能够使设备的工作环境得到很大改善,抗腐蚀能力大大增强,稳定性大大提升。
申请公布号 CN202124674U 申请公布日期 2012.01.25
申请号 CN201120161956.1 申请日期 2011.05.18
申请人 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 发明人 严俊;聂汉军
分类号 C30B33/10(2006.01)I 主分类号 C30B33/10(2006.01)I
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所 31233 代理人 宋缨;张文军
主权项 一种具有排风设备的多晶制绒设备,包括离心风机(1)和排风管路(2),其特征在于,所述的离心风机(1)安装在所述的多晶绒设备的顶部;所述的离心风机(1)的进风口与所述的多晶绒设备的排风口相连;所述的离心风机(1)的出风口与所述的排风管路(2)相连。
地址 201108 上海市闵行区春中路56号106-108室