基板检查装置以及基板检查方法

摘要

提供一种能够抑制完成检查所需的时间增加的同时进行详细的缺陷复检的基板检查装置以及基板检查方法。基板检查装置(1)具备：向X方向输送基板W的基板输送单元(22)、对向X方向输送过程中的基板W的缺陷进行检测的线扫描摄像机(15)、线扫描摄像机驱动部(115)、缺陷检测部(121)、在该输送过程中获取所检测到的缺陷的图像的复检摄像机(19)、复检摄像机驱动部(119)以及控制部(101)。

主权项

一种基板检查装置，其特征在于，具备：输送部，其向第一方向输送基板；缺陷检测部，其对向上述第一方向输送过程中的上述基板的缺陷进行检测；以及图像获取部，其在上述输送过程中获取由上述缺陷检测部检测到的缺陷的图像。