回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法

摘要

本发明公开了回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法，步骤为：将尾气经冷却、冷凝，使大部分氯硅烷液化，气体经压缩进入氯化氢吸收塔，用氯硅烷溶液吸收，氢气从氯化氢吸收塔顶部排出并收集；从氯化氢吸收塔底部排出的富氯化氢的氯硅烷液体通入氯化氢精馏塔，氯硅烷溶液从氯化氢精馏塔塔底排出；含有微量氢气的氯化氢气体从氯化氢精馏塔塔顶排出，进入精馏塔顶全凝器，精馏塔顶全凝器的冷凝液进入精馏塔回流罐，微量氢气从精馏塔回流罐顶部排出并收集，精馏塔回流罐的冷凝液一部分通入氯化氢精馏塔作为回流液，一部分进入液体氯化氢储罐进行储存。本发明提高了回收的氯化氢的纯度；增加了氯化氢的存储量；节省了设备的投资。

主权项

一种回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法，其特征是包括下述步骤：将多晶硅生产中还原炉和/或氢化炉里产生的尾气经过冷却、冷凝，使大部分的二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅液化，气体经压缩后进入氯化氢吸收塔，用氯硅烷溶液吸收气体中的氯化氢和气态氯硅烷，绝大部分氢气从氯化氢吸收塔顶部排出并收集；从氯化氢吸收塔底部排出的富氯化氢的氯硅烷液体通入氯化氢精馏塔进行精馏，氯硅烷溶液从氯化氢精馏塔塔底排出，与富氯化氢的氯硅烷液体换热后进入氯化氢吸收塔；含有微量氢气的氯化氢气体从所述氯化氢精馏塔塔顶排出，进入精馏塔顶全凝器，精馏塔顶全凝器的冷凝液进入精馏塔回流罐，微量氢气从精馏塔回流罐顶部排出并收集，精馏塔回流罐的冷凝液一部分通入氯化氢精馏塔作为回流液，一部分进入液体氯化氢储罐进行储存。