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发明名称 Manufacturing method of semiconductor device
摘要
申请公布号 EP1416521(B1) 申请公布日期 2012.01.25
申请号 EP20030256884 申请日期 2003.10.30
申请人 FUJITSU SEMICONDUCTOR LIMITED 发明人 SASHIDA, NAOYA;MATSUURA, KATSUYOSHI;HORII, YOSHIMASA;KURASAWA, MASAKI;TAKAI, KAZUAKI
分类号 C23C16/40;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/06;H01L27/105;H01L27/108 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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