发明名称 RESONATOR ELEMENT AND RESONATOR PIXEL FOR MICROBOLOMETER SENSOR
摘要
申请公布号 EP2409126(A1) 申请公布日期 2012.01.25
申请号 EP20100705085 申请日期 2010.02.17
申请人 AIT AUSTRIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY GMBH 发明人 BRUECKL, HUBERT;MAIER, THOMAS
分类号 G01J5/20;G01J5/08;G02B5/22 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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