超薄伞流式非接触硅片吸盘

摘要

本发明涉及太阳能电池片或半导体晶圆片吸附装置，具体是指一种超薄伞流式非接触硅片吸盘，包括吸盘本体和喷嘴，所述吸盘本体沿中心轴线依次设有圆柱形孔、圆形腔和伞状气流腔，喷嘴由互相垂直的横向圆柱体和纵向圆柱体构成T型结构，横向圆柱体与纵向圆柱体连接部位设有圆形台阶；纵向圆柱体与吸盘本体圆柱孔过盈配合。本发明采用伞状气流产生真空原理进行硅片的夹持与输送，在吸附过程中，吸盘边缘作为静压支撑，既可吸附起工件，又可保证工件与吸盘非接触，并且还能避免晶片旋转、振动等问题的产生。

主权项

一种超薄伞流式非接触硅片吸盘，包括吸盘本体和喷嘴，其特征是，所述吸盘本体沿中心轴线依次设有圆柱形孔（1）、圆形腔（2）和伞状气流腔（3），圆形腔（2）半径大于圆柱形孔（1）半径，伞状气流腔（3）的顶面半径大于圆形腔（2）半径，圆形腔（2）上部有环槽同进气孔道（8）连通；所述喷嘴由互相垂直的横向圆柱体（5）和纵向圆柱体（4）构成T型结构，横向圆柱体（5）两侧上表面各设有球形凹面（6）且两球形凹面（6）相对纵向圆柱体（4）轴线为对称设置，横向圆柱体（5）与纵向圆柱体（4）连接部位设有圆形台阶（7）；喷嘴纵向圆柱体（4）置于吸盘本体圆柱孔（1）内，且纵向圆柱体（4）与吸盘本体圆柱孔（1）过盈配合，所述圆形台阶（7）位于圆形腔（2）中，横向圆柱体（5）置于伞状气流腔（3）内，吸盘本体的圆形腔（2）与球形凹面（6）相通，横向圆柱体（5）与伞状气流腔（3）之间有间隙。