| 发明名称 | 一种超薄敏感梁压阻加速度传感器 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种超薄敏感梁压阻加速度传感器，其特征在于：主要由硅基框架、质量块、主梁和微梁构成，质量块设置在硅基框架中间，硅基框架通过主梁和微梁与质量块相连接，在质量块的两侧设置有互相对称的微梁，微梁上设有应变电阻，在质量块的无微梁两侧四个角部、或四个角部和中部设置有对称的主梁，主梁一端连接质量块，另一端连接硅基框架；采用对称结构可以提高压阻式加速度传感器的灵敏度和温度稳定性，使受加速度作用时微梁只有水平运动而无扭动，且应变分布均匀，对位置精度要求不高，易于实现，并可广泛应用于加速度测量与控制领域中。 | ||
| 申请公布号 | CN202126442U | 申请公布日期 | 2012.01.25 |
| 申请号 | CN201120202539.7 | 申请日期 | 2011.06.16 |
| 申请人 | 沈阳工业大学 | 发明人 | 揣荣岩;王健;刘本伟;孙洪林;孙显龙 |
| 分类号 | G01P15/09(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人 | 宋铁军 |
| 主权项 | 一种超薄敏感梁压阻加速度传感器，其特征在于：主要由硅基框架（1）、质量块（2）、主梁（3）和微梁（4）构成，质量块（2）设置在硅基框架（1）中间，硅基框架（1）通过主梁（3）和微梁（4）与质量块（2）相连接；在所述质量块（2）的两侧设置有互相对称的微梁（4），微梁（4）上设有应变电阻（5）；在质量块（2）的无微梁两侧四个角部、或四个角部和中部设置有对称的主梁（3），主梁（3）一端连接质量块（2），另一端连接硅基框架（1）。 | ||
| 地址 | 110870 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈辽西路111号 | ||