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发明名称 METHOD FOR ELECTRON BEAM INDUCED DEPOSITION OF CONDUCTIVE MATERIAL
摘要
申请公布号 KR20120008016(A) 申请公布日期 2012.01.25
申请号 KR20117005468 申请日期 2009.08.07
申请人 CARL ZEISS SMS GMBH 发明人 AUTH NICOLE;SPIES PETRA;BECKER RAINER;HOFMANN THORSTEN;EDINGER KLAUS
分类号 C23C16/48 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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