发明名称 感光性树脂组合物及积层体
摘要
申请公布号 TWI356972 申请公布日期 2012.01.21
申请号 TW097103548 申请日期 2008.01.30
申请人 旭化成电子材料元件股份有限公司 发明人 姬田优香理
分类号 G03F7/027 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种感光性树脂组合物,其特征在于:含有(a)含羧基之黏合剂:20~90质量%、(b)具有至少一个末端乙烯性不饱和基之加成聚合性单体:5~75质量%、(c)光聚合起始剂:0.01~30质量%;感光性树脂组合物整体中含有1~50质量%之选自由以下述通式(I)及通式(II)所表示化合物所组成群中之至少一种化合物,以作为(b)具有至少一个末端乙烯性不饱和基之加成聚合性单体;@sIMGTIF!d10017.TIF@eIMG!(其中,R1为碳数4~12之直链、支链或环状之伸烷基、或者碳数6~12之烷基伸芳基,R2~R5分别独立为氢或甲基,A为C2H4,B为CH2CH(CH3),n1~n4分别独立为0~15之整数,n1+n2+n3+n4为2以上;-(A-O)-及-(B-O)-之重复单元之排列可为无规排列亦可为嵌段排列;于嵌段排列之情形时,-(A-O)-及-(B-O)-之顺序,任一者均可在胺基甲酸酯键侧);@sIMGTIF!d10019.TIF@eIMG!(其中,R6及R7分别独立为碳数4~12之直链、支链或环状之伸烷基、或者碳数6~12之烷基伸芳基,R8~R11分别独立为氢或甲基,A为C2H4,B为CH2CH(CH3),n5及n6为0~15之整数,n5+n6为1以上,n7~n10分别独立为0~15之整数,n7+n8+n9+n10为2以上;-(A-O)-及-(B-O)-之重复单元之排列可为无规排列亦可为嵌段排列;于嵌段排列之情形时,-(A-O)-及-(B-O)-之顺序,任一者均可在胺基甲酸酯键侧)。如请求项1之感光性树脂组合物,其中其进一步含有以下述通式(III)所表示之化合物,以作为上述(b)含有至少一个末端乙烯性不饱和基之加成聚合性单体:@sIMGTIF!d10018.TIF@eIMG!(其中,R12为碳数4~12之直链、支链或环状之伸烷基、或者碳数6~12之烷基伸芳基,R13及R14分别独立为氢或甲基,A为C2H4,B为CH2CH(CH3),n11~n14分别独立为0~15之整数,n11+n12+n13+n14为2以上;-(A-O)-及-(B-O)-之重复单元之排列可为无规排列亦可为嵌段排列;于嵌段排列之情形时,-(A-O)-及-(B-O)-之顺序,任一者均可在胺基甲酸酯键侧)。一种感光性树脂积层体,其包含感光性树脂层及支持体,该感光性树脂含如请求项1或2之感光性树脂组合物。一种光阻图案之形成方法,其特征在于:包括于基板上使用如请求项3之感光性树脂积层体而形成感光性树脂层之积层步骤、曝光步骤、及显影步骤。如请求项4之光阻图案之形成方法,其中于上述曝光步骤中,进行直接微影(lithography)而实施曝光。一种印刷电路板之制造方法,其特征在于:包括对藉由如请求项4或5之方法形成有光阻图案之基板进行蚀刻或电镀之步骤。一种具有凹凸图案之基材之制造方法,其特征在于:包括利用喷砂方法对藉由如请求项4或5之方法形成有光阻图案之基板进行加工之步骤。一种半导体封装体之制造方法,其包括对藉由如请求项4或5之方法形成有光阻图案之基板进行电镀之步骤。一种凸块之制造方法,其包括对藉由如请求项4或5之方法形成有光阻图案之基板进行电镀之步骤。一种导线架之制造方法,其包括对藉由如请求项4或5之方法形成有光阻图案之基板进行蚀刻之步骤。一种印刷电路板之制造方法,其特征在于:包括对藉由如请求项4或5之方法形成有光阻图案之基板进行电镀之步骤,电镀步骤中使用氰化贵金属电镀浴。一种半导体封装体之制造方法,其特征在于:包括对藉由如请求项4或5之方法形成有光阻图案之基板进行电镀之步骤,电镀步骤中使用氰化贵金属电镀浴。一种凸块之制造方法,其特征在于:包括对藉由如请求项4或5之方法形成有光阻图案之基板进行电镀之步骤,电镀步骤中使用氰化贵金属电镀浴。
地址 日本