| 主权项 |
一种遮罩箱，收容能够搬送的光罩、与搭载上述光罩而使用的装置之中使用的载置上述光罩用的遮罩匣，其特征在于：上述遮罩箱，包括：遮罩保持装置，保持上述光罩；匣保持装置，保持上述遮罩匣；箱本体，设置上述遮罩保持装置以及上述匣保持装置；以及箱盖，可自由装卸地安装在上述箱本体，且覆盖上述光罩，其中取出上述光罩时，是藉由从上述遮罩箱中取出上述遮罩匣，以上述遮罩匣载置着上述光罩的状态下取出上述光罩，且上述遮罩保持装置及上述匣保持装置被移动至在上述遮罩匣的取出方向上不与上述遮罩匣干涉的位置。如申请专利范围第1项所述的遮罩箱，其中上述遮罩匣是由上方取出。如申请专利范围第1或2项所述之遮罩箱，其中在与上述遮罩匣不接触的状态下支持上述光罩，且取出上述光罩时，使上述遮罩匣往取出方向移动，而上述遮罩匣载置着上述光罩。如申请专利范围第3项所述之遮罩箱，其中收容上述光罩时，具有支持该光罩的遮罩支持插销，且使上述遮罩匣往既定的方向移动时，该遮罩支持插销导引该移动。如申请专利范围第4项所述之遮罩箱，其中取出上述光罩时，上述光罩被载置于上述遮罩匣上的固定位置。如申请专利范围第1项所述之遮罩箱，其中该遮罩保持装置保持着载置于上述遮罩匣的状态的上述光罩。一种遮罩匣，在搭载光罩而使用的装置之中，载置光罩而使用，且与上述光罩一起收容于遮罩箱中，其特征在于：在收容上述光罩以及上述遮罩匣于上述遮罩箱时，为了保持上述光罩，包括用来使设于上述遮罩箱的保持构件装置到达上述光罩的开口部，其中由上述遮罩箱取出上述光罩时，藉由解除上述保持构件的保持状态，以上述遮罩匣载置着上述光罩的状态下取出上述光罩。一种图案转移方法，包括下列步骤：从用来搬送光罩的遮罩箱取出上述光罩；以及将上述光罩以载置于上述遮罩匣的状态下搭载于曝光装置进行图案转移曝光，其特征在于：上述遮罩箱，包括：遮罩保持装置，保持上述光罩；匣保持装置，保持上述遮罩匣；箱本体，设置上述遮罩保持装置以及上述匣保持装置；以及箱盖，可自由装卸地安装在上述箱本体，且覆盖上述光罩，从上述遮罩箱取出上述光罩时，藉由解除上述遮罩保持装置及上述匣保持装置，使上述遮罩保持装置及上述匣保持装置移动至上述遮罩匣取出方向上不与上述遮罩匣干涉的位置，并在上述遮罩匣载置着上述光罩的状态下取出上述光罩。 |
