| 摘要 |
La présente invention concerne un dispositif de mesure polarimétrique à résolution microscopique comprenant en particulier des moyens de conversion de polarisation aptes à modifier la polarisation d'un faisceau pour passer d'une distribution spatialement uniforme à une distribution de symétrie cylindrique autour de l'axe optique et réciproquement, lesdits moyens de conversion étant disposés sur l'axe d'un objectif de focalisation (7) pour focaliser ledit faisceau polarisé de symétrie cylindrique sur la surface d'un échantillon à mesurer. L'invention concerne également un micro-ellipsomètre, un microscope à contraste interférométrique, un accessoire polarimétrique pour microscope, et un procédé de mesure polérimétrique.
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