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Ein Substrat-Zustand, der zu Beschädigungen eines durch eine elektrostatische Haltevorrichtung zu handhabenden Substrats führt, wird angemessen beherrscht. Die elektrostatische Haltevorrichtung umfasst einen Haltevorrichtungs-Hauptkörper 1 mit Elektroden 3a, 3; eine Halteplatte 2 aus einem dielektrischen Material, die einen Rippen-Teil 2a, mit dem ein äußerer Randteil des Substrats in Oberflächenkontakt kommen kann, und eine Vielzahl von Halteteilen 2c, die vertikal in einem vorgegebenen Abstand voneinander in einem Innenraum 2b, der durch den Rippen-Teil 2a umgeben ist, angeordnet sind, aufweist; und eine Gaseinleitungsvorrichtung zum Einleiten eines vorgegebenen Gases in den Innenraum. Wenn das Substrat durch die elektrostatische Haltevorrichtung gehalten wird, die angeordnet ist, das Substrat durch die Halteplatte anzuziehen und eine Gas-Atmosphäre auszubilden, indem ein vorgegebenes Gas in den Innenraum geliefert wird, wird ein Stromwert durch Bewirken, dass ein Wechselstrom in einer Kapazität der Halteplatte mittels einer Wechselenergieversorgung fließt, überwacht, eine Menge fließenden Gases wird durch Bewirken, dass Gas durch die Gaseinleitungsvorrichtung fließt, über wacht; und ein Substrat-Zustand wird auf der Grundlage einer Änderung in mindestens einem von Stromwert und Gasfluss-Menge gesteuert, um Beschädigungen des Substrats zu verhindern.
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