摘要 |
Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (10) mit einer Substratoberfläche, einer unteren Elektrodenschicht (114) und einer weiteren unteren Elektrodenschicht (124), die auf der Substratoberfläche angeordnet sind und elektrisch voneinander isoliert sind, und zur Absorption von Temperier-Wärmestrahlung (106) einer Absorberschicht (104), die auf der der Substratoberfläche abgewandten Seite des Substrats (10) angeordnet und mit dem Substrat (10) wärmeleitend verbunden sind; Bestrahlen der Absorberschicht (104) mit einer Temperier-Wärmestrahlung (106) zum gleichmäßigen Temperieren des Substrats (10); Anordnen einer zusammenhängenden Keramikschicht auf den unteren Elektrodenschichten (114, 124).
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