发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung
摘要 Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (10) mit einer Substratoberfläche, einer unteren Elektrodenschicht (114) und einer weiteren unteren Elektrodenschicht (124), die auf der Substratoberfläche angeordnet sind und elektrisch voneinander isoliert sind, und zur Absorption von Temperier-Wärmestrahlung (106) einer Absorberschicht (104), die auf der der Substratoberfläche abgewandten Seite des Substrats (10) angeordnet und mit dem Substrat (10) wärmeleitend verbunden sind; Bestrahlen der Absorberschicht (104) mit einer Temperier-Wärmestrahlung (106) zum gleichmäßigen Temperieren des Substrats (10); Anordnen einer zusammenhängenden Keramikschicht auf den unteren Elektrodenschichten (114, 124).
申请公布号 DE102007062053(B4) 申请公布日期 2012.01.19
申请号 DE200710062053 申请日期 2007.12.21
申请人 PYREOS LTD. 发明人 GIEBELER, CARSTEN, DR.;SCHREITER, MATTHIAS
分类号 H01L37/00;G01J5/12;G01J5/34;H01L27/16 主分类号 H01L37/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利