发明名称 4D-Bildgebung in einem ultraschnellen Elektronenmikroskop
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren und Systeme für die 4D ultraschnelle Elektronenmikroskopie (UEM)–in situ Bildgebung mit ultraschneller Zeitauflösung in TEM. Einzelelektronenbildgebung wird als eine Komponente der 4D-UEM Technik benutzt, um hohe räumliche und zeitliche Auflösung zu erreichen, die mittels konventioneller Techniken unerreichbar ist. Andere Ausführungen der vorliegenden Erfindungen betreffen Verfahren und Systeme zur konvergenter-Strahl-UEM, wobei die Elektronenstrahlen auf die Probe fokussiert werden, um strukturelle Charakteristika in drei Dimensionen als Funktion der Zeit zu messen. Zusätzlich stellen Ausführungen nicht nur 4D-Bildgebung von Proben zur Verfügung, sondern auch eine Charakterisierung der Elektronenenergie durch zeitaufgelöste Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS).
申请公布号 DE112009002439(T5) 申请公布日期 2012.01.19
申请号 DE20091102439T 申请日期 2009.10.07
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 ZEWAIL, AHMED, H.
分类号 H01J37/26 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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