紫外激光精密打标装置

摘要

本实用新型涉及紫外激光精密打标装置，紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜，扩束镜的输出端布置有扫描振镜，扫描振镜的输出端连接有聚焦镜，聚焦镜的下方布置有二维移动平台；紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出准直的光束，准直的光束经扫描振镜后进入聚焦镜，聚焦镜聚焦后的光束焦点位于二维移动平台的加工工件上。采用紫外调Q脉冲激光器，紫外激光因其固有特性，在与材料作用时，并不是通过热烧蚀去除物质，而是通过打断材料的化学键来使分子剥离，可极大地减小热影响区域；紫外激光加工又称为冷加工，可获得很好的边缘效果；解决了激光打标过程中的位置精度及效果问题，适用于半导体领域晶圆级打标应用。

主权项

紫外激光精密打标装置，包括激光器和扩束镜，其特征在于：所述激光器为紫外调Q固体激光器，紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜，所述扩束镜的输出端布置有扫描振镜，所述扫描振镜的输出端连接有聚焦镜，聚焦镜的下方布置有二维移动平台；所述紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出准直的光束，准直的光束经扫描振镜后进入聚焦镜，聚焦镜聚焦后的光束焦点位于二维移动平台的加工工件上。