光掩模

摘要

本发明公开了一种光掩模，包含有一布局图案设置在该光掩膜上。该光掩模布局图案包含有H型图案，其包括第一直线图案、第二直线图案以及连接该第一直线图案与该第二直线图案的中间区域，其中该第一直线图案与该第二直线图案互相平行，该中间区域内设有多条类斑马线的密集线条及间隔图案。该第一直线图案、该第二直线图案以及该密集线条均为不透光区域且该间隔图案为透光区域。其中该密集线条及间隔图案的节距须小到能够超过曝光机台的解析能力，使得穿透该中间区域的光线能量不足以让该密集线条及间隔图案在光刻胶中被曝出来。

主权项

一种光掩模，包含有一布局图案设置在该光掩膜上，其中该布局图案包含有H型图案，其包括第一直线图案、第二直线图案以及连接该第一直线图案与该第二直线图案的中间区域，其中该第一直线图案与该第二直线图案互相平行，该中间区域内设有多条密集线条及间隔图案，其中该第一直线图案、该第二直线图案以及该密集线条均为不透光区域且该间隔图案为透光区域，其中该密集线条及间隔图案的节距小到能够超过曝光机台的解析能力，使得穿透该中间区域的光线能量不足以让该密集线条及间隔图案在光刻胶中被曝出来。