振荡器装置、光偏转器和使用该光偏转器的成像设备

摘要

振荡器装置，包括振荡系统(100)、驱动部件(130)和控制装置(120)，振荡系统(100)包括第一振荡可动元件(101)、第二振荡可动元件(102)和支撑部件(103)；第一振荡可动元件(101)由第一弹性支撑元件(110)支撑，相对于第二振荡可动元件(102)且关于振荡轴线(A)扭转振荡；第二振荡可动元件(102)由第二弹性支撑元件(112)支撑，相对于支撑部件(103)且关于振荡轴线(A)扭转振荡；振荡系统(100)具有谐振频率f1的第一固有振荡模式和谐振频率f2的第二固有振荡模式，f2约为f1的N倍，N为自然数，控制装置(120)按照预定方程式确定设定驱动频率Df1和Df2，同时满足Df2＝N×Df1，并且通过驱动部件(130)以设定驱动频率驱动振荡系统。

主权项

一种振荡器装置，包括振荡系统、驱动部件和控制装置，所述驱动部件配置成驱动所述振荡系统，所述控制装置配置成确定要从所述驱动部件施加到所述振荡系统的驱动力，其特征在于：所述振荡系统包括第一振荡可动元件、第二振荡可动元件和支撑部件；所述第一振荡可动元件由第一弹性支撑元件支撑，用于相对于所述第二振荡可动元件且关于一振荡轴线扭转振荡；所述第二振荡可动元件由第二弹性支撑元件支撑，用于相对于所述支撑部件且关于所述振荡轴线扭转振荡；所述振荡系统具有关于所述振荡轴线的不同频率的第一和第二固有振荡模式，其中当所述第一固有振荡模式的谐振频率是f1、所述第二固有振荡模式的谐振频率是f2并且N是不小于2的整数时，满足下列关系：0.98N≤f2/f1≤1.02N，其中排除了f2/f1＝N的情况；所述控制装置设置成根据下列关系确定设定驱动频率Df1和Df2：Df1＝(α1×N×f1+α2×f2)/NDf2＝(α1×N×f1+α2×f2)其中，α1和α2是当确定设定驱动频率Df1和Df2时使用的加权系数，并且满足：α1+α2＝1α1＞0α2＞0以便满足下列关系：Df2＝N×Df1；以及当谐振峰处的谐振频率为fa，在谐振峰的低频侧振荡能量等于谐振峰一半值的频率为fb，在谐振峰的高频侧振荡能量等于谐振峰一半值的频率为fc，代表谐振峰陡峭度的值Q满足关系Q＝fa/(fc‑fb)，并且各个固有振荡模式的谐振峰的陡峭度为Qi，其中i为1和2时，所述控制装置设置成将系数αi确定为等于相应的Qi除以Q的总和所获得的值，所述驱动部件按照所述设定驱动频率Df1和Df2驱动所述振荡系统。