发明名称 |
一种Mn掺杂AlN单晶纳米棒的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种Mn掺杂AlN单晶纳米棒的制备方法,属于纳米材料及其制备的技术领域。本发明采用化学气相沉积法,在陶瓷和Si衬底上生长Mn掺杂AIN单晶纳米棒。高纯Al粉、无水AlCl3,高纯Mn粉和NH3气分别作为Al源,Mn源和N源置于陶瓷舟中,经过去离子水和无水乙醇超声清洗的多晶Al2O3基片作为衬底扣置在陶瓷舟上。陶瓷舟置于加热区处,密封水平管式炉,炉内真空度抽至9×10-3Pa,通入流量为200sccm的氩气,并对管式炉进行加热。温度达到1400℃时,通入流量为30sccm的氨气并保持1h。然后,停止加热,关掉氨气,并保持氩气流量不变。自然冷却到室温,关掉氩气,取出衬底,得到样品。本发明的特点是:方法简单,成本低,产率高,产物均匀性好,可控性好,对环境危害小,易于推广。 |
申请公布号 |
CN102321915A |
申请公布日期 |
2012.01.18 |
申请号 |
CN201110295405.9 |
申请日期 |
2011.10.08 |
申请人 |
新疆大学 |
发明人 |
吴荣;任会会;姜楠楠;任银拴;简基康;李锦;孙言飞 |
分类号 |
C30B25/08(2006.01)I;C30B29/10(2006.01)I |
主分类号 |
C30B25/08(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种Mn掺杂AlN单晶纳米棒的制备方法:本方法采用化学气相沉积法,在陶瓷和Si衬底上生长Mn掺杂AIN单晶纳米棒;所用系统由硅钼棒加热的水平管式炉、气路系统和真空系统组成;以高纯Al粉、无水AlCl3作为Al源,高纯Mn粉作为Mn源和NH3气作为N源,将高纯Al粉、无水AlCl3和高纯Mn粉三种粉末按比例混合置于陶瓷舟中,经过去离子水和无水乙醇超声清洗的多晶Al2O3基片作为衬底扣置在陶瓷舟上,陶瓷舟置于中央加热区处,密封水平管式炉,使用机械泵和扩散泵对系统抽真空,使炉内真空度抽至9×10‑3 Pa,通入流量为200 sccm的氩气,并管式炉进行加热,当管式炉加热区的温度达到1400 ℃时,通入流量为30 sccm的氨气并保持1 h,然后,停止加热,关掉氨气,并保持氩气流量不变;自然冷却到室温,关掉氩气,取出衬底,得到样品。 |
地址 |
830046 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市天山区胜利路14号 |