工件移送方法和静电吸盘装置以及基板粘贴方法

摘要

本发明的工件移送方法的特征在于，用附着部件3使静电吸盘2附着到保持板1上；用附着的静电吸盘2吸附保持工件A，同时用隔离部件4将静电吸盘2和工件A作为一体地从保持板1隔离，据此工件A不变为自由状态，所以可以不受重力等的影响地被输送到释放位置；停止静电吸盘2的静电吸附功能后，用附着部件3再度只将静电吸盘2附着到保持板1上，从移动到释放位置的工件A的表面剥离静电吸盘2，而留下工件A并安放到释放位置。根据本发明，即使是薄且刚性低的工件，也可以在移动中不产生变形或位置偏移地释放安放。

主权项

一种用保持板的静电吸盘吸附保持工件、将所保持的工件释放并安放到规定位置的工件移送方法，其特征在于：在所述保持板上设置将静电吸盘拉向该保持板并沿着该保持板可自由拆装的附着部件和将静电吸盘从该保持板拉离的隔离部件；用上述附着部件使静电吸盘附着在保持板上；利用该附着的静电吸盘吸附保持工件，并利用上述隔离部件将上述静电吸盘与工件作为一体地从保持板隔离开；在停止该静电吸盘的静电吸附功能后，利用所述附着部件仅使上述静电吸盘再次附着在保持板上，而留下工件以安放在释放位置上。