| 发明名称 | 形成具有压电电阻的器件的方法和加速度计 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种形成具有压电电阻的器件的方法。在一个实施例中，该方法包括：提供基底；在基底中蚀刻沟槽以形成竖直壁；在竖直壁上外延生长压电电阻层；以及使竖直壁与沿水平面延伸的基底的底层分离，以使得压电电阻层可相对于水平面内的底层运动。 | ||
| 申请公布号 | CN102326088A | 申请公布日期 | 2012.01.18 |
| 申请号 | CN201080008388.X | 申请日期 | 2010.01.12 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | G·亚马;B·普鲁伊特;A·A·巴尔利安 |
| 分类号 | G01P15/12(2006.01)I;G01C19/56(2012.01)I;H01L21/762(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 王永建 |
| 主权项 | 一种形成具有压电电阻的器件的方法，包括：提供基底；在所述基底中蚀刻沟槽，以形成竖直壁；在所述竖直壁上外延生长压电电阻层；以及使所述竖直壁与沿着水平面延伸的所述基底的底层分离，以使得所述压电电阻层可相对于所述水平面内的所述底层运动。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||