发明名称 用于高频测量的探针头
摘要 本发明涉及一种尤其用于测量探针或测量头的接触装置,用于尤其在半导体晶片上的高频测量,具有用于与平面结构电接触的接触端(12),其中在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质(10)支承的导体(14)的共面导体结构,在电介质(10)和接触端(12)之间,这样构造探针头,使得空间自由且对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14)。本发明的特征在于,在电介质(10)上设置至少一个用于传输电信号的装置(24),该装置这样与共面导体结构的至少一个导体(14)电连接,使得该装置(24)传输至少一个与该装置(24)电连接的导体(14)的信号。
申请公布号 CN101076734B 申请公布日期 2012.01.18
申请号 CN200580040909.9 申请日期 2005.11.21
申请人 罗森伯格高频技术有限及两合公司 发明人 斯蒂芬·西斯;迈克尔·沃利特策
分类号 G01R1/067(2006.01)I 主分类号 G01R1/067(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 赵科
主权项 一种用于高频测量的接触装置,具有用于与平面结构电接触的接触端(12),其中在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质(10)支承的导体(14)的共面导体结构,其中在电介质(10)与接触端(12)之间构造探针头以使得空间自由地并且对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14),其特征在于,在电介质(10)上设置至少一个用于传输电信号的装置(24),所述用于传输电信号的装置(24)与共面导体结构的至少一个导体(14)电连接以使得该用于传输电信号的装置(24)传输来自至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)的信号,其中在共面导体结构的每两个导体(14)之间,在共面导体结构的整个长度上,构造各缝隙以使得在共面导体结构的长度上产生恒定的特性阻抗;所述接触装置包括具有同轴导体结构的同轴缆线端(16),其中所述用于传输电信号的装置(24)与同轴导体结构的至少一个同轴缆线接头(18)相连以使得所述用于传输电信号的装置(24)在至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)和同轴导体结构的至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的同轴缆线接头(18)之间传输信号;以及所述电介质(10)延伸直到同轴缆线端(16)。
地址 德国弗里多尔芬