涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器

摘要

本发明提供一种涡轮分子泵，其包括：转子(30)，其形成有多层旋转叶片(32)且能够进行高速旋转；多个固定叶片(33)，它们在泵轴线方向上与旋转叶片(32)交替配置；泵外壳(34)，其用于容纳旋转叶片(32)及固定叶片(33)且形成有进气口(21a)；圆盘(150)，其设在靠近转子(30)的进气口侧的位置上且以与比转子(30)的旋转叶片根部靠近内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体(153a、153b)，其配置在进气口(21a)和转子(30)之间且由细线编织而成，将被转子弹起的颗粒捕捉到网眼结构体(153a、153b)的内部。

主权项

一种涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与上述旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳上述旋转叶片及固定叶片，且在该泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与上述转子的进气口一侧接近的位置，且该圆盘以与上述转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体，其配置在上述进气口和上述转子之间，且由细线编织而成，将被上述转子弹起的颗粒捕捉到上述网眼结构体的内部。