一种基于相干激光的表面微结构成形系统

摘要

本发明公开了一种基于相干激光的表面微结构成形系统，包括依次光路连接的激光发生器、光束整形模块、第一半反射镜、第二全反射镜，在第一半反射镜和第二全反射镜的下面设置有电控移动工作台，电控移动工作台用于放置基质，所述第一半反射镜和第二全反射镜设置有伺服电机，所述电控移动工作台、伺服电机和激光发生器与计算机连接。本发明可以使基质表面指定部位材料发生熔化、对流、蒸发或其他物理化学过程，改变材料表面形状，进而形成所需要的周期性表面；本发明技术手段简便易行，具有积极的意义，便于推广应用。

主权项

一种基于相干激光的表面微结构成形系统，其特征在于，包括依次光路设置的激光发生器、光束整形模块、第一半反射镜、第二全反射镜，在第一半反射镜和第二全反射镜的下面设置有电控移动工作台，电控移动工作台用于放置基质，所述第一半反射镜和第二全反射镜设置有伺服电机，所述电控移动工作台、伺服电机和激光发生器与计算机连接。