流体喷射装置

摘要

流体喷射装置以及用于形成这种装置的方法，流体喷射装置包括具有空腔的基板、形成在基板上的反电极、形成在基板上的促动膜、形成在基板上的顶层以及形成在顶层内的喷嘴。用于形成这种流体喷射装置的方法包括在基板内形成空腔，在基板上形成反电极，在基板上形成促动膜，在基板上形成顶层，以及在顶层内形成喷嘴。

主权项

一种流体喷射装置，包括：具有空腔的基板，所述空腔形成在所述基板内并且具有10微米到100微米的深度；所述空腔包括由喉状段部分地分开的流体喷射段和微通道段；形成在所述基板上的介质层；形成在所述介质层上方的反电极，所述反电极至少部分地位于所述空腔内；形成在所述基板上的促动膜，所述促动膜定位成用于封闭所述反电极；形成在所述基板上的顶层，所述顶层定位成用于覆盖所述空腔；以及形成在所述顶层内的喷嘴。