| 发明名称 | 螺栓和半导体制造装置 | ||
| 摘要 | 一种螺栓(300)，包括主体(310)和弹簧销钉(330)。主体包括栓头(311)和轴(312)。弹簧销钉包括基台部分(332)和末端部分(331)。轴包括外螺纹部分(312a)和中空部分(310c)。栓头包括顶部表面(311a)和在顶部表面上开的孔(310a、310b)。该孔连接到中空部分。基台部分被配置在中空部分中，以沿主体的轴线(S)移动。末端部分被配置在该孔中，以沿轴线移动。使弹簧销钉朝向栓头侧蓄能，由此末端部分突出超出顶部表面。末端部分电气连接到外螺纹部分。 | ||
| 申请公布号 | CN101038005B | 申请公布日期 | 2012.01.18 |
| 申请号 | CN200710087802.0 | 申请日期 | 2007.03.19 |
| 申请人 | 瑞萨电子株式会社 | 发明人 | 岛田好朗;卫藤宏树;樫原玲 |
| 分类号 | F16B35/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | F16B35/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 钟强;樊卫民 |
| 主权项 | 一种内六角圆柱头螺栓，包括：主体，其包括栓头和轴；和弹簧销钉，其包括基台部分和末端部分，其中所述轴包括部分外螺纹和中空部分，所述栓头包括顶部表面和在所述顶部表面上开的孔，所述孔连接到所述中空部分，所述基台部分被配置在所述中空部分中，以沿所述主体的轴线移动，所述末端部分被配置在所述孔中，以沿所述轴线移动，使所述弹簧销钉朝向所述栓头侧蓄能，由此所述末端部分突出超出所述顶部表面，所述末端部分电气连接到所述部分外螺纹，一部分所述孔是六角形孔，以及所述的一部分所述孔在所述顶部表面中开口。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||