一种基于压电陶瓷驱动器驱动的并联微定位平台及微定位平台系统

摘要

基于压电陶瓷驱动器驱动的并联微定位平台及系统包括：微动台和基板及控制系统，微动台包括动平台及四个柔性铰链，在动平台相邻的两侧分别布置着单个和一对并排的压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器一端与动平台之间通过一个万向铰连接，另一端通过另一万向铰与预紧弹簧连接，预紧弹簧由螺钉预紧；在动平台上表面，沿每个压电驱动器轴线方向分别布置着一个电容传感器；电容传感器的一片位于固定在微动台外侧的一个传感器支架上，另一片位于固定在动平台上表面的另一传感器支架上，采用计算机闭环控制。本发明有效提高位移直线度和定位精度，消除耦合，避免驱动器分离，保护压电驱动器。采用增广噪声模型的LQG算法有效抑制窄带地基扰动，提高定位精度。

主权项

一种基于压电陶瓷驱动器驱动的并联微定位平台，其特征在于包括：微动台和用于固定微动台的基板；所述微动台包括中间的动平台以及位于所述动平台四个角落的四个柔性铰链，动平台及四个角落的四个柔性铰链组成二级杆组；在动平台相互垂直的两侧分别布置着单个和一对并排的压电陶瓷驱动器，其中一对并排的压电陶瓷驱动器与动平台的中轴线对称，单个压电陶瓷驱动器与动平台另一侧的中轴线重合；压电陶瓷驱动器一端与动平台之间通过一个万向铰连接，压电陶瓷驱动器的另一端通过另一万向铰与预紧弹簧连接，预紧弹簧通过螺钉预紧；在动平台上表面，沿着每个压电驱动器轴线方向分别布置着一个电容传感器；所述电容传感器的一片位于固定在微动台外侧的一个传感器支架上，另一片位于固定在动平台上表面的另一传感器支架上。