制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法

摘要

制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法，它涉及一种铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法。本发明解决了现有技术中制备铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜材料织构不可控和致密度低的问题。本发明的方法先将醋酸铅溶于冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液得溶液A，再将乙酸镁和乙醇铌的混合物溶于冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液得溶液B，再向溶液B中加入钛酸四丁酯得溶液C，最后把溶液A和C混合并加入稳定剂得到PMN-PT前躯体溶胶，然后利用匀胶机将前躯体溶胶涂覆到基片上，烘干后进行预烧，再放入快速热处理炉中焙烧，然后冷却至室温即得到织构可控的PMN-PT铁电薄膜。本发明得到的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜材料织构可控，致密度高。

主权项

制备织构可控的铌镁酸铅‑钛酸铅铁电薄膜的方法，其特征在于制备织构可控的铌镁酸铅‑钛酸铅铁电薄膜的方法步骤如下：a、依照化学式(1‑x)Pb(Mg1/3Nb2/3)‑xPbTiO3按1∶1/3(1‑x)∶2/3(1‑x)∶x的摩尔比分别称取醋酸铅、乙酸镁、乙醇铌和钛酸四丁酯，其中x＝0.32；b、把醋酸铅加入到冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液中，室温下搅拌10～30min，得溶液A，其中，冰乙酸和乙二醇甲醚的摩尔比为1∶5～15，醋酸铅与冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液的摩尔比为1∶6～16；c、把乙酸镁和乙醇铌的混合物加入冰乙酸和乙二醇甲醚混合溶液中，在60～100℃条件下加热回流搅拌20～60min，得溶液B，再将钛酸四丁酯加入到溶液B中，在80～120℃条件下加热回流搅拌20～60min，得溶液C，其中，冰乙酸和乙二醇甲醚的摩尔比为1∶5～15，乙酸镁和乙醇铌的混合物与冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液的摩尔比为1∶6～16；d、将溶液A和溶液C混合得混合溶液D，然后向混合溶液D中加入乙酰丙酮，乙酰丙酮与混合溶液D的摩尔比为1∶10～20，室温下搅拌20～40min，得(1‑x)Pb(Mg1/3Nb2/3)‑xPbTiO3溶胶；e、将Pt/Ti/SiO2/Si基片依次在丙酮和无水乙醇中各超声处理4～6min，然后置于空气中自然干燥；f、把步骤d得到的(1‑x)Pb(Mg1/3Nb2/3)‑xPbTiO3溶胶滴加到经步骤e处理过的基片上，以1000～2000r/min旋涂10s，再以3500～4500r/min旋涂20s，然后在40～80℃条件下烘干得薄膜D；g、将薄膜D在350～450℃条件下预烧，得薄膜E；h、将薄膜E放入快速热处理炉中在630～670℃条件下焙烧8～15min，冷却至室温，即获得织构可控的铌镁酸铅‑钛酸铅铁电薄膜。