MEMS光调制器像素单元及其制作方法

摘要

本发明实施例提供MEMS光调制器像素单元及其制作方法，所述光调制器像素单元包括：位于层间介质层内的空腔，位于所述空腔内的可动电极，位于空腔上的顶部电极，位于空腔下方的底部电极，位于顶部电极上的滤光片，所述光调制器像素单元利用光的衍射原理对白色光线进行调制。本发明实施例解决了现有的光调制器像素单元普遍需要利用单色光源发出的单色光线作为入射光线的问题，降低了光调制器像素单元的成本。

主权项

一种光调制器像素单元，其特征在于，包括：衬底；所述衬底上具有含有空腔的层间介质层；底部电极，位于衬底上对应所述空腔的位置；顶部电极，位于所述空腔上方对应于底部电极位置的层间介质层内，所述顶部电极为光栅，所述光栅远离底部电极的表面为光线反射面；滤光片，位于所述顶部电极上，用于将白光转换为三基色光线；可动电极，位于所述底部电极与顶部电极之间的空腔内，所述可动电极面向顶部电极的表面为光线反射面，所述可动电极能够沿垂直于光线反射面的方向移动，并分别位于第一位置、第二位置或第三位置，当可动电极位于第一位置、第二位置或第三位置时，使得三基色光线中的一种透过顶部电极的栅孔并经可动电极反射后的光线在顶部电极发生衍射。