发明名称 |
偏振分光器件及其形成方法 |
摘要 |
一种偏振分光器件及其形成方法,所述偏振分光器件,包括:透明基底;位于所述透明基底上的偏振光栅,所述偏振光栅包括多条相互间隔平行排列的透光部和不透光部;位于所述偏振光栅上的透明层。本发明的偏振分光器件入射光线经偏振分光器件后的透射光和反射光的强度基本相同,都接近入射光线强度的50%,可以提高立体投影光学系统的成像效果。 |
申请公布号 |
CN102323677A |
申请公布日期 |
2012.01.18 |
申请号 |
CN201110295248.1 |
申请日期 |
2011.09.29 |
申请人 |
上海丽恒光微电子科技有限公司 |
发明人 |
黄城;唐德明 |
分类号 |
G02B27/28(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I |
主分类号 |
G02B27/28(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种偏振分光器件,其特征在于,包括:透明基底;位于所述透明基底上的偏振光栅,所述偏振光栅包括多条相互间隔平行排列的透光部和不透光部;位于所述偏振光栅上的透明层。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室 |