发明名称 一种高重量比能量密度微能源系统、方法及其应用
摘要 本发明涉及一种高重量比能量密度微能源系统、方法及应用。其特征在于所述的系统组成为:(1)在GaAs电池背表面溅射生长Al薄膜;(2)在Al膜表面溅射沉积氮化镍钴,其通式为ComNi1-mN,式中0<m<1;(3)在氮化镍钴薄膜表面溅射沉积Li1.3Ti1.7Al0.3(PO4)3薄膜;(4)在Li1.3Ti1.7Al0.3(PO4)3薄膜上沉积金属Li薄膜;(5)在Li薄膜表面溅射成膜一层Cu薄膜;(6)溅射(2)-(5)时在Al膜表面用不锈钢掩模板紧贴在露出未覆盖多层膜的Al表面,依次要装能源管理电路和RF模块,用金线连接GaAs电池正极、Li电池阳极、能源管理模块输出端和RF收发模块输出端。提供的高重量比能量密度高达438wh/kg,可连续5天在阴天条件下工作,为物联网节点微型化长时间供电及野外应用提供技术手段。
申请公布号 CN102324586A 申请公布日期 2012.01.18
申请号 CN201110180076.3 申请日期 2011.06.24
申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明人 周健;孙晓玮;谈惠祖;周舟;王伟;周建华
分类号 H01M10/46(2006.01)I;H01M10/058(2010.01)I 主分类号 H01M10/46(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 潘振甦
主权项 一种高重量比能量密度微能源系统,其特征在于所述的微能源系统的组成为:(1)在GaAs电池背表面溅射生长Al薄膜;(2)在Al膜表面溅射沉积氮化镍钴,其通式为ComNi1‑mN,式中0<m<1;(3)在氮化镍钴薄膜表面溅射沉积Li1.3Ti1.7Al0.3(PO4)3薄膜;(4)在Li1.3Ti1.7Al0.3(PO4)3薄膜上沉积金属Li薄膜;(5)在Li薄膜表面溅射成膜一层Cu薄膜;(6)溅射(2)~(5)时在Al膜表面用不锈钢掩模板紧贴在露出未覆盖多层膜的Al表面,依次安装能源管理电路和RF收发模块,用金线连接GaAs电池正极、Li电池阳极、能源管理电路输出端和RF收发模块输出端。
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号