发明名称
摘要
申请公布号 JP4856107(B2) 申请公布日期 2012.01.18
申请号 JP20080032950 申请日期 2008.02.14
申请人 发明人
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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