用于在电子器件制造中传输基板的机械手系统、装置及方法

摘要

本发明揭示基板传输系统、装置和方法。系统适于藉由将吊臂连杆转向邻近目的地的位置，接着驱动机械手组件来放下或拾起目的地处的基板，以有效放下或拾起目的地处的基板。在此还提出许多其他方面。

主权项

一种电子器件处理系统，包括：腔室；机械手装置，容纳于所述腔室中且适于传输基板，所述机械手装置具有适于绕着旋转轴旋转的吊臂连杆和第一机械手组件，所述机械手组件进一步包括：上臂，所述上臂在偏离所述吊臂连杆的旋转轴的第一径向位置耦接至所述吊臂连杆；前臂，所述前臂耦接至所述上臂且适于相对于所述上臂旋转；机械腕构件，所述机械腕构件耦接至所述前臂且适于相对于所述前臂旋转；以及端部执行器，所述端部执行器包括在所述机械腕构件上，所述端部执行器适于承载所述基板。