| 发明名称 | 一种检测器件有无镀层的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种检测器件有无镀层的方法，该方法包括以下步骤：A、使用扫描电镜和能谱仪对器件的表面元素进行成份分析；B、将器件的表层去除，使用俄歇电子能谱仪对器件的基材元素成份进行分析；C、比较器件表面元素成份和基材的元素成份，如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同，则说明没有镀层，否则说明有镀层。本发明有如下优点：本发明方法操作步骤少，操作简便，可快速准确判断出器件表面是否有镀层。 | ||
| 申请公布号 | CN102323625A | 申请公布日期 | 2012.01.18 |
| 申请号 | CN201110251657.1 | 申请日期 | 2011.08.30 |
| 申请人 | 上海华碧检测技术有限公司 | 发明人 | 闫武杰 |
| 分类号 | G01V9/00(2006.01)I;G01N23/227(2006.01)I | 主分类号 | G01V9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种检测器件有无镀层的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：A、使用扫描电镜和能谱仪对器件的表面元素进行成份分析；B、将器件的表层去除，使用俄歇电子能谱仪对器件的基材元素成份进行分析；C、比较器件表面元素成份和基材的元素成份，如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同，则说明没有镀层，否则说明有镀层。 | ||
| 地址 | 200433 上海市杨浦区国定东路300号3号楼 | ||