一种数字式实时射频自动匹配器及其匹配方法

摘要

本发明揭示了一种数字式实时射频自动匹配器及其匹配方法，该匹配器为基于MPU(单片机)的模块化系统，包括负载阻抗实时监测模块、L型匹配网络及双参数自动控制系统，其中该负载阻抗实时监测模块包含双定向耦合器和信号调理电路，用于实时性测量并提供MPU进行负载阻抗计算的原参数，该L型匹配网络为由至少两个可调电容构成的三元件L型匹配网络，且该双参数自动控制系统为连接MPU输出端与L型匹配网络两个电容的桥接控制器。应用实施本发明的射频自动匹配器，能有效提高射频高功率应用匹配的实时性，同时提高匹配器的适用环境和匹配精度。

主权项

一种数字式实时射频自动匹配器，其特征在于：所述匹配器为基于单片机的模块化系统，包括负载阻抗实时监测模块、L型匹配网络及双参数自动控制系统，其中所述负载阻抗实时监测模块包含双定向耦合器和信号调理电路，用于实时性测量并提供单片机进行负载阻抗计算的原参数，所述L型匹配网络为由至少两个可调电容构成的三元件L型匹配网络，且所述双参数自动控制系统为连接单片机输出端与L型匹配网络两个电容的桥接控制器。