sensor e sistema para detectar um feixe de elétrons

摘要

SENSOR E SISTEMA PARA DETECTAR UM FEIXE DE ELéTRONS A invenção diz respeito a um sensor (10) para detectar uma intensidade de um feixe de elétrons gerado por meio de um gerador de feixe de elétrons ao longo de um percurso em direção a um alvo dentro da área de alvo, o feixe de elétrons saindo do gerador através de uma janela de saída (24). O sensor (10) compreende pelo menos uma área (26) de pelo menos uma camada condutora (28) posicionada dentro do percurso e conectada com um detector de corrente, sendo cada área (26) da pelo menos uma camada condutora (28) substancialmente blindada uma com relação à outra, com respeito ao ambiente circundante e com respeito à janela de saída (24) por meio de uma blindagem (32), a blindagem (32) sendo formada sobre a janela de saída (24). A invenção também se refere a um sistema compreendendo tal sensor.